松下開(kāi)發(fā)出0.15μm精度的形狀測(cè)量?jī)x
2009-08-19 14:57:07
松下開(kāi)發(fā)出能以±0.15μm的精度測(cè)量精密加工物形狀的測(cè)量系統(tǒng)。除MEMS、半導(dǎo)體及連接器等微細(xì)加工品外，還可應(yīng)用于硬盤驅(qū)動(dòng)器的軸承部分及發(fā)動(dòng)機(jī)的汽缸部分等精密加工品的測(cè)量。
此次開(kāi)發(fā)的系統(tǒng)利用探針描畫測(cè)量對(duì)象的表面以測(cè)量形狀?？梢允褂猛粋€(gè)探針，測(cè)量水平面和垂直面。此前的系統(tǒng)都不能以不足±1μm的精度測(cè)量垂直面。之前的形狀測(cè)量方法是照射激光等非接觸測(cè)量的方法。但這種方法存在的問(wèn)題是，因測(cè)定部分的顏色和狀態(tài)不同，測(cè)量值各異。
此次，該公司開(kāi)發(fā)的方法使用的是在棒狀支柱上安裝直徑30μm的球制成的探針。探針為金屬材料，有時(shí)還使用紅寶石。將該探針對(duì)著測(cè)量對(duì)象物表面以微小的力（0.3mN）進(jìn)行描畫。探針因描畫物體而傾斜，根據(jù)探針的動(dòng)態(tài)便可測(cè)量表面形狀。不過(guò)，實(shí)際上，為防止探針位置從其最初接觸測(cè)量物的狀態(tài)發(fā)生變化，通過(guò)反饋控制來(lái)移動(dòng)載有測(cè)量物的載物臺(tái)。根據(jù)該載物臺(tái)的動(dòng)態(tài)來(lái)推算形狀。另外，探針的位置能夠使用光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行精密測(cè)量。
測(cè)量范圍方面，縱橫均為100mm。探針的描畫速度為2mm/秒。探針能夠測(cè)量最小直徑為50μm的微細(xì)孔。該公司表示，有了這樣的測(cè)量能力，便能夠測(cè)量MEMS及半導(dǎo)體制造工序中的很多加工形狀。
該測(cè)量系統(tǒng)的設(shè)置面積是該公司原產(chǎn)品的大約一半。另外，即使有5cm/S2（伽）的搖晃，也能夠發(fā)揮規(guī)定的測(cè)量能力。這是在普通工廠中都可能存在的搖晃。2009年10月起，松下生產(chǎn)科技（Panasonic Factory Solutions）開(kāi)始受理訂單。價(jià)格“不超過(guò)4000萬(wàn)日元”。 ■
