ZEVAC公司近日推出了其高精度、多功能自動化工藝桌面平臺與擴(kuò)散器的應(yīng)用。應(yīng)用于不同介質(zhì)擴(kuò)散和零件處理的復(fù)合2D（X/Y軸）和3D（X/Y/Z軸）開放式應(yīng)用領(lǐng)域，利用其精密和靈活的工藝創(chuàng)新，解決了電子元件、半導(dǎo)體、光電子和微電子處理或生物技術(shù)產(chǎn)業(yè)的市場問題。
此外還可添加使用一個或多個Z軸、Z軸和Theta軸組合的專用機(jī)器人加工頭、分配加工頭或高速主軸加工頭。交換針可在X、Y和Z方向上進(jìn)行自動校驗，而擴(kuò)散區(qū)可在介質(zhì)擴(kuò)散后，采用視覺控制方法立即進(jìn)行檢驗。CAD數(shù)據(jù)可采用逐點、矩陣、直線、曲線或各種擴(kuò)散模式輸入，而X、Y和Z軸則采用同步化處理，同時擴(kuò)散路徑繼續(xù)受到控制和進(jìn)一步優(yōu)化，然后可確定激光距離傳感器一類周邊設(shè)備的進(jìn)一步連接或清潔并進(jìn)行其他各項操作。
