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真空載荷空氣軸承

氣浮墊屬于單向空氣軸承，結構簡單便于組合使用，但是在載荷很小時承載剛度較弱，無法單獨使用，因此誕生了一種產品：真空載荷空氣軸承（也可叫做真空氣浮墊），氣膜壓力支撐氣墊具有向上支撐力，同時真空腔吸引氣墊向下形成預載荷，使得氣墊承載剛度很大、非常穩(wěn)定?？諝鈮毫驼婵肇搲憾伎梢哉{整，氣墊可很好適應多種用途。 現在真空發(fā)生器很普及，一個很小的氣動元件，很簡單地利用壓力空氣實現真空負壓。使得真空氣墊應用起來更加方便。 舉一個最簡單的一個應用：氣浮表座。擁有一個00或000極的一個花崗巖平臺、有壓力氣 源，將表或零件放在真空氣墊上，氣墊放在平臺上，立刻可以進行在高精度（如μm、亞μm極 ）測量，而高精度的花崗巖平臺根本不會磨損而降低精度。相對達到的精度，整個裝備花費是 非常少的。