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真空載荷空氣軸承

氣浮墊屬于單向空氣軸承，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單便于組合使用，但是在載荷很小時(shí)承載剛度較弱，無法單獨(dú)使用，因此誕生了一種產(chǎn)品：真空載荷空氣軸承（也可叫做真空氣浮墊），氣膜壓力支撐氣墊具有向上支撐力，同時(shí)真空腔吸引氣墊向下形成預(yù)載荷，使得氣墊承載剛度很大、非常穩(wěn)定?？諝鈮毫驼婵肇?fù)壓都可以調(diào)整，氣墊可很好適應(yīng)多種用途。 現(xiàn)在真空發(fā)生器很普及，一個(gè)很小的氣動(dòng)元件，很簡(jiǎn)單地利用壓力空氣實(shí)現(xiàn)真空負(fù)壓。使得真空氣墊應(yīng)用起來更加方便。 舉一個(gè)最簡(jiǎn)單的一個(gè)應(yīng)用：氣浮表座。擁有一個(gè)00或000極的一個(gè)花崗巖平臺(tái)、有壓力氣 源，將表或零件放在真空氣墊上，氣墊放在平臺(tái)上，立刻可以進(jìn)行在高精度（如μm、亞μm極 ）測(cè)量，而高精度的花崗巖平臺(tái)根本不會(huì)磨損而降低精度。相對(duì)達(dá)到的精度，整個(gè)裝備花費(fèi)是 非常少的。