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機(jī)床網(wǎng)
非接觸式表面輪廓測(cè)量?jī)x CCI HD
產(chǎn)地：上海
品牌：其他
編碼：CCI HD
生產(chǎn)企業(yè)：泰勒霍普森有限公司
CCI HD適合用于制造和研究領(lǐng)域，可測(cè)量厚度至1.5微米的厚膜及厚度至50納米的薄膜涂層。
產(chǎn)品詳情

CCI HD 是一種非接觸式光學(xué) 3D 輪廓儀，具有測(cè)量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有專利的新型關(guān)聯(lián)算法，來(lái)查找由我們的精密光學(xué)掃描裝置產(chǎn)生的干涉圖的相干峰和相位。 這種新型的 CCI HD 整合了世界領(lǐng)先的非接觸式尺寸測(cè)量功能和先進(jìn)的厚薄膜測(cè)量技術(shù)。

CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度測(cè)量功能，還可以提供兩種類型的膜厚測(cè)量。 近年來(lái)厚膜分析被用于研究厚度至約 1.5 微米的半透明涂料；測(cè)量的厚度限制取決于材料的折射率和標(biāo)的物的 NA。 測(cè)量較薄的涂層被證實(shí)為難度更高。

現(xiàn)在通過(guò)干涉測(cè)量法可以研究厚度至 50 納米（同樣取決于折射率）的薄膜涂層。 采用這種新型方法，可以在單次測(cè)量中研究膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷以及薄涂層表面的剝離等特性。

  • 2048 x 2048像素陣列，視場(chǎng)廣，高分辨率
  • 全量程0.1埃的分辨率
  • 適用于0.3% - 100%的表面反射率
  • RMS 重復(fù)精度<0.2埃，階躍高度重復(fù)精度<0.1%
  • 多語(yǔ)言版本的64位控制和分析軟件

 

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