一.激光干涉儀簡介
激光干涉儀是一種以波長作為標準對被測長度進行測量的儀器。激光干涉儀是20世紀60年代末期問世的一種新型的測量設備，由美國HP公司研制成功并于1970年投入市場，隨即受到了相關行業(yè)特別是機床制造業(yè)的重視，其主要在：線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應用。隨著激光干涉儀測量技術的不斷提高，測量軟件的不斷開發(fā)其測量范圍越來越廣泛，特別是在測量數控機床位置精度方面用途最為廣泛。
二.中圖激光干涉儀功能特點
1. 測量精度高：以激光干涉技術為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
2. 具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉軸分度精度的測量。
3. 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。
4. 具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等。
5. 內置各種類國標（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等機床檢驗標準。可依據各種機床標準分析處理數據，并根據測量結果可打印相應的曲線圖和數據報告。
6. 可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數?？蛇x擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償。
7. 測量記錄采用集中式數據庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數據輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。
8. 安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。
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三.中圖激光干涉儀技術參數
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