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型 號(hào)
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TR Scan-101
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TR Scan-301
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工作臺(tái)移動(dòng)范圍X
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mm
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固定式
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100
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工作臺(tái)移動(dòng)范圍Y
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mm
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固定式
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100
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工作臺(tái)移動(dòng)范圍Z
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mm
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240
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XYZ軸最小移動(dòng)量
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um
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0.1
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XYZ軸定位精度
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um
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1
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XY軸導(dǎo)軌直線度
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um
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0.3
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工件最大重量
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Kg
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20
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測(cè)量頭
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DHM S1
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DHM S2
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CCM P1
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DIM P1
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垂直分辨率(Z)
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nm
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0.1
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0.1
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8~780 **
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10
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軸向分辨率(XY)
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um
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0.6
|
0.6
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0.9~14 **
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1
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典型測(cè)量范圍(Ra) *
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um
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0.4
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1.6
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0.012 ~>200 **
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20
|
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垂直測(cè)量范圍 *
|
um
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3
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7
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130~24000 **
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350
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最大允許誤差(Ra)
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%
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1%
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1%
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1%~5% **
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5%
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重復(fù)性(Ra,1σ)
|
nm
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< 0.1
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< 0.1
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< 5~25 **
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9
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樣品反射率
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%
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< 1% ~100%
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< 1% ~100%
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< 1% ~100%
|
-
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視場(chǎng)范圍
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mm
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0.25 x 0.25
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0.25 x 0.25
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-
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-
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