實時自動增益調(diào)整 速度響應頻率1000Hz的高性能伺服驅(qū)動器 先進的振動抑制技術(shù),控制低剛性結(jié)構(gòu)的震動 位置指令脈沖最大頻率可達2Mpps 利用最新技術(shù),實現(xiàn)體積比以往產(chǎn)品減小75% 可通過串行外部光柵尺,對位置進行全閉環(huán)控制 可使用專用控制臺進行簡單維護