ZLM700雙頻激光干涉儀主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量,ZLM800干涉儀可從單軸拓展為多軸,廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。它能夠完全計(jì)算出機(jī)械設(shè)備的運(yùn)行軌跡,并通過WINDOWS™軟件按用戶設(shè)定的方法對(duì)其進(jìn)行分析。
配用高性能蔡司光學(xué)鏡頭,ZLM70/800雙頻激光干涉儀可以完成以下各種測(cè)量工作: